超精密加工与加工机床，刀具，加工工艺，甚至加工环境都有密不可分的关系。

首先精密加工机床必须有以下几个特点：

1、  高精度，包括机床的主轴回转精度、导轨运动精度、分度精度等都不能低于零件的加工精度要求。

2、  高刚性及稳定性。高刚性过程中机床刚性需要保持良好，还需呀同时考虑工件、刀具、机床、夹具所组成的工艺系统刚度，避免超精密加工过程中产生振动或者变形。高稳定性指机床能够在规定的环境下保持良好的精度、抗干扰、抗振、热稳定性等。

3、  高自动化。保证加工精度的同时实现自动化是超精密机床的必要条件，现代超精密加工机床多配有精密控制系统实现自动控制工件及主轴的运动轨迹，有效避免人为因素产生的误差，提高加工质量。